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一种专为储存和处理特种气体而设计的设备，应用在 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备上，适用于芯片半导体、光伏太阳能电池、微电子新材料等行业。
适用气体：燃爆毒腐蚀危险性气体
设备基础配置参数：
l 单瓶/双瓶/三瓶可选
l 供气盘面：自动/手切气体切换，自动/手动气体吹扫
l 自动远程切断
l 防爆玻璃观察窗、防爆自锁门、防爆电控箱
l 10-12寸彩色中文人机界面，实现人气分离全自动触摸屏操作
l 泄露报警、负压报警
l 4寸排风口及阀门
可选配置：
l 面板加热
l 钢瓶加热
l 电子磅秤
l 配置 UV/IR,喷淋头，高温，烟感应
l 防呆装置
l 温控装置
| 西安致纯管道工程有限公司 | |
| 苏剑锐 |
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| wxid_24nncp8vcr5n12 | |
| 15891755608 | |
| 无 | |
| 无 | |
| 谭家乡常青村常青苑4幢2单元 | |
| 西安实验室气路系统,钢瓶固定架,西安集中供气系统,西安不锈钢氨气减压阀 | |
| http://zhichunguandao.b2b.huangye88.com/m/ | |
